Engineer's Office for Applied Spectroscopy


 
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Bullet-Blue.gif (925 bytes) Technologische Highlights
Optisches Verfahren: berührungslos, zerstörungsfrei und nicht-radioaktiv, ohne Kalibrierung!
Schnelle Messung und Auswertung - innerhalb Millisekunden!
Großer Schichtdicken-Messbereich:  ca. 0.1 bis 150 Mikrometer
Hohe Genauigkeit:  typisch besser ± 0.005 Mikrometer über den gesamten Bereich
Gleichzeitige Bestimmung der Dicke von Doppelschichten möglich
Koordinatengesteuerte Messung mit ein- oder mehrachsigen Traversieranlagen möglich


  Applikationsschrift: 

Bullet-Blue.gif (925 bytes) Applikationsbeispiele
Schutzlack-Beschichtungen


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Schichtdickenmessung von trockenen oder auch nassen Beschichtungen, mit der Möglichkeit zur simultanen Bestimmung der Dicke von Doppelschichtsystemen. Unsere Technologie wird von den in der Welt führenden Herstellern von Automobil-Streuscheiben und Compact-Discs benutzt. Das Bild zeigt das 3D-Schichtdickenprofil des Schutzlackes einer Compact-Disc im Bereich von 9-13 µm.
 

Schichten aus der Vakuum-Bedampfung (z.B. Parylene) und Photolacke


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Die hochpräzise Technik unserer Schichtdicken-Messgeräte ermöglicht die Bestimmung der Dicke sogar im Submikro-Bereich. Das Bild zeigt das 3D-Schichtdickenprofil einer ca. 10 mm² großen Diamantschicht auf Silizium in einem Dickenbereich von ca. 800-1000 Nanometer.

 
Folienmessung - auch auf Beschichtungsmaschinen


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Unter Verwendung von Traversieranlagen können Sie mit unseren Messgeräten das Schichtdickenprofil in Längs- und/oder Querrichtung zur Folien- oder Beschichtungsmaschine bestimmen. Dies erlaubt eine unmittelbare Kontrolle für Ihren Herstellungsprozess! Das Bild zeigt schematisch die Schichtdickenmessung auf Anlagen zur Folienherstellung oder auf Beschichtungsmaschinen.
 

Bullet-Blue.gif (925 bytes) Grundlagen zur Messmethode

Zur Bestimmung der Schichtdicke wird ein allgemein bekannter Effekt ausgenutzt, der z.B. bei Seifenblasen oder einem dünnen Ölfilm auf Wasser auftritt. Man sieht Farberscheinungen, die sich mit der Dicke der Schicht entsprechend ändern, indem z.B. eine Seifenblase weiter aufgeblasen wird. Besuchen Sie auch diese Soap Bubble Web Seite, die ein paar interessante Fotografien und weitere Erläuterungen zum Thema enthält!

Diese "Farben an dünnen Schichten" beruhen auf einer Interferenz - Erscheinung, das heißt auf der Überlagerung von Lichtwellen, die an der Vorder- und Hinterseite der Schicht (sprich: an zwei Grenzflächen unterschiedlicher optischer Dichte) reflektiert worden sind.

Das Interferenz-Modell
Das Interferenzmodell

Die ungestörte Überlagerung der beiden reflektierten Lichtstrahlen 1 und 2 führt nun zu periodischen Aufhellungen (Verstärkung) und Auslöschungen (Abschwächung) im Spektrum eines weißen Kontinuumstrahlers, z.B. einer Halogenlampe.


Da die Überlagerungen der beiden Teilstrahlen nicht rein additiv ist, spricht man von einer Interferenz. Die Abbildung rechts zeigt beispielhaft das Interferenzspektrum einer 1 µm (Kurve oben) und einer 2 µm (Kurve unten) dicken Schicht.

Beispiele von Interferenzspektren
Beispiele von Interferenzspektren

Bullet-Blue.gif (925 bytes) Schematischer Messaufbau

Diese Interferenzspektren von dünnen transparenten oder teiltransparenten Schichten werden von unseren TranSpec Lite Schichtdicken-Messgeräten oder einem TranSpec Prozess-Spektrometer gemessen und ausgewertet. Die Abbildung rechts zeigt schematisch den Aufbau eines solchen Schichtdicken - Messplatzes. Die zu messende Schicht wird über einen zweiarmigen Y-Lichtleiter bestrahlt, der mit dem Spektrometer und der Halogenleuchte ist. Das reflektierte Interferenzspektrum der Probe wird dem Spektrometer zugeführt, spektral analysiert und anschließend daraus die Schichtdicke berechnet.

TranSpec Lite Schichtdicken-MessgerätTranSpec Prozess-Spektrometer für Schichtdicke
      TranSpec Lite Schichtdicken-Messgerät                TranSpec Prozess-Spektrometer

Schematischer Messaufbau zur Schichtdickenmessung
Schematischer Aufbau zur Schichtdickenmessung

This Website was edited last on January 17, 2017

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